Vận chuyển wafer bán dẫn
Tính năng giải pháp
(Ưu điểm của Robot cộng tác trong vận chuyển wafer bán dẫn)
Sản phẩm liên quan
-
-
- Tải trọng tối đa: 16KG
- Tầm với: 900mm
- Tốc độ điển hình: 1,1m/s
- Tốc độ tối đa: 4m/s
- Độ lặp lại: ± 0,1mm
-
-
-
- Tải trọng tối đa: 1000kg
- Thời lượng pin toàn diện: 6 giờ
- Độ chính xác định vị: ±5, ±0,5mm
- Đường kính quay: 1344mm
- Tốc độ lái: ≤1,67m/s
-
-
-
-
- Lực kẹp: 3~5.5N
- Trọng lượng phôi khuyến nghị: 0,05kg
- Hành trình: 5mm
- Thời gian mở/đóng: 0,03 giây
- Lớp IP: IP40
-
-